Оптик фазын массив технологи нь уян хатан, өндөр хурдтай, өндөр нарийвчлалтай давуу талтай цацрагийн хазайлтыг хянах шинэ төрлийн технологи юм.

Одоогийн байдлаар ихэнх судалгаанууд шингэн болор, оптик долгионы хөтлүүр, микро цахилгаан механик систем (MEMS) -ийн оптик фазын массивын талаар хийгдэж байна. Өнөөдөр бид танд хүргэж байгаа зүйл бол оптик долгион хөтлүүрийн оптик үе шаттай массивын холбогдох зарчмууд юм.

Оптик долгион хөтлүүрийн үе шаттай массив нь материалаар дамжин өнгөрсний дараа гэрлийн туяаг хазайлгахын тулд диэлектрик материалын цахилгаан оптик нөлөө эсвэл термооптик нөлөөг голчлон ашигладаг.

Оптик Wаваачигч Pхашсан Aray Bдээр тулгуурласан EцахилгаанOpticаль Eнөлөө

Кристалын цахилгаан оптик нөлөө нь талст дээр гадны цахилгаан орон үүсгэх бөгөөд ингэснээр болороор дамжин өнгөрөх гэрлийн цацраг нь гадаад цахилгаан оронтой холбоотой фазын саатлыг үүсгэдэг. Кристалын анхдагч цахилгаан оптик нөлөөнд үндэслэн цахилгаан талбайн улмаас үүссэн фазын саатал нь хэрэглэсэн хүчдэлтэй пропорциональ байх ба оптик долгионы хөтлүүрийн цөмөөр дамжин өнгөрөх гэрлийн туяаны фазын хоцролтыг цахилгаан талст дээрх хүчдэлийг хянах замаар өөрчилж болно. оптик долгион хөтлүүрийн цөм бүрийн электродын давхарга. N-давхаргатай долгион хөтлүүрийн үе шаттай массивын хувьд зарчмыг Зураг 1-д үзүүлэв: үндсэн давхарга бүрийн гэрлийн цацрагийн дамжуулалтыг бие даан хянах боломжтой бөгөөд түүний үечилсэн дифракцийн гэрлийн талбайн тархалтын шинж чанарыг сараалжтай дифракцийн онолоор тайлбарлаж болно. . Үндсэн давхаргад хэрэглэсэн хүчдэлийг тодорхой дүрмийн дагуу удирдаж, фазын зөрүүний харгалзах хуваарилалтыг олж авснаар бид алс холын талбайн гэрлийн эрчмийн хөндлөнгийн тархалтыг хянах боломжтой. Хөндлөнгийн үр дүн нь тодорхой чиглэлд өндөр эрчимтэй гэрлийн туяа үүсдэг бол фазын удирдлагын хэсгүүдээс бусад чиглэлд ялгардаг гэрлийн долгионууд бие биенээ таслан зогсоож, гэрлийн туяаны хазайлтыг сканнердах болно.

1-р зурагт үндэслэн сараалжтай болгох зарчмууд Цахилгаан-Оптик оптик долгион хөтлүүрийн үе шаттай массивын нөлөө

Термо-оптик эффект дээр суурилсан оптик долгион хөтлүүрийн фазын массив

Болор’s thermo-optic effect гэдэг нь болорыг халаах эсвэл хөргөх замаар болорын молекулын зохион байгуулалт өөрчлөгдөх үзэгдлийг хэлдэг бөгөөд энэ нь болорын оптик шинж чанарыг температурын өөрчлөлтөөр өөрчлөхөд хүргэдэг. Кристалын анизотропийн улмаас термооптик эффект нь янз бүрийн шинж чанартай байдаг бөгөөд энэ нь индикатрисын хагас тэнхлэгийн уртын өөрчлөлт, оптик тэнхлэгийн өнцгийн өөрчлөлт, оптик тэнхлэгийн хавтгайн хувирал зэрэг байж болно. индикаторын эргэлт гэх мэт. Цахилгаан оптик эффектийн нэгэн адил термооптик нөлөө нь цацрагийн хазайлтад ижил нөлөө үзүүлдэг. Долгион хөтлүүрийн үр дүнтэй хугарлын илтгэгчийг өөрчлөхийн тулд халаалтын хүчийг өөрчилснөөр өөр чиглэлд өнцгийн хазайлтыг бий болгож чадна. Зураг 2 нь термо-оптик эффект дээр суурилсан оптик долгион хөтлүүрийн үе шаттай массивын бүдүүвч диаграмм юм. Үе шаттай массив нь жигд бус байрлалтай бөгөөд 300 мм-ийн CMOS төхөөрөмж дээр нэгтгэгдэж, сканнерын хазайлтыг өндөр гүйцэтгэлтэй болгодог.

Зураг 2 Термо-оптик эффект дээр суурилсан оптик долгион хөтлүүрийн үе шаттай массивын зарчим.